Service List形状解析レーザー顕微鏡
装置について
用途：形状測定、表面粗さ測定
本装置はSLM（scanning Laser Microscope）とも呼ばれます。
照明光がサンプル表面で焦点を合わせた際、その反射光も検出器上でも焦点が合う構造になっており、サンプル表面が焦点から外れると、サンプル表面からの反射光はほとんど検出器に取り込まれないためZ方向の分解能も得られます。
サンプル表面に焦点を合わせて走査させたレーザー光を照明光として用いることにより、高解像度の面の情報が得られます。また、画像の各点に記録されたZの値からサンプル表面の3次元構造を再構築することにより、表面形状、段差、粗さなどの測定を行うことが可能です。
装置仕様
| メーカー・形式 | KEYENCE・VK-X150 |
| 倍率 | 200×～24,000× |
| 観察・測定用光学系 | ピンホールによる共焦点光学系 |
| 高さ測定 表示分解能 | 1nm、面内10nm |
| フレームメモリ ピクセル数 | 2,048×1,536、1,024×768、1,024×64 |
| フレームレート 面スキャン | 4～120Hz |
| ラインスキャン | 7790Hz |
| 測定用レーザ波長 | 408nm |
| 最大出力 | 0.95mW Class2（JIS C6802） |
| 受光素子 | PMT（光電子増倍管） |
| 光学観察用光源 | 100Wハロゲンランプ |
| 観察用カラーカメラ 撮像素子 | 1／3型カラーCCDイメージセンサ |
| 撮影解像度 | 超高精細［3072×2304］ |
