Service List分光エリプソメータ
装置について
装置仕様
| メーカー | HORIBA Jobin Yvon |
| 形式 | UVISEL |
| 用途 | 半導体、ディスプレイ、太陽光発電、光学コーティング、光エレクトロニクス、バイオおよび化学などの分野における薄膜・表面・界面の特性評価と、(Ψ、Δ)のの値のための測定 |
| 波長領域 | 210〜880 nm |
| 光源 | 75W Xe-ランプ |
| サンプルステージ | 150mmウェハ対応、XY軸は固定 〈位置合わせ〉 高さ(20mm)、傾斜、θの手動調節、オートコリメーション |
| ゴニオメータ | 固定、入射角度が55°〜75°において5°刻み設定 |
