Service List顕微PL装置
装置について

半導体のフォトルミネッセンス(PL)を測定する装置です。半導体に光を照射することで、電子と正孔が生成され、それがまた再結合することで、バンドギャップに対応したエネルギーの光が発生します。この光を分光装置によりスペクトルとして得ることで、半導体の特性を評価することが可能です。本装置は特に、微細な半導体発光デバイスの評価のために、顕微鏡によって励起レーザーを局所領域に絞ることができるため、デバイスの特定領域の発光特性を評価することが可能です。光ディテクターは近赤外領域であり、光通信に重要な1.55μm帯の発光素子の評価に優れています。
装置仕様
メーカー・形式 | HORIBA・顕微フォトルミネセンス測定装置(iHR320他) |
励起レーザー波長 | 532 nm, 980 nm |
対物レンズ | ×100, NA=0.5 |
口径比 | f/4.1 |
分光器 | iHR320 (焦点距離: 320 mm) |
検出器 | SymphonyIGA-1700 波長レンジ:800 nm~1600 nm,512X1ピクセル,液体窒素冷却 SymphonyIGA2200 波長レンジ:1050 nm~2050 nm,512X1ピクセル,液体窒素冷却 |
その他 | 入射電動スリット 自動試料ステージ(マッピング可) 低温クライオスタット(20 Kまで) ウェハ面内スキャン可能 |