Service List卓上型分析走査電子顕微鏡（TM3000／EDS）
装置について
動作原理につきましては、電解放射型走査電子顕微鏡を参照ください。
装置仕様
| メーカー・形式 | (株)日立ハイテクノロジーズ・TM3000 |
| 倍率 | 画像表示倍率：15倍～30,000倍（ステップ切替(*1)）、デジタルズーム：2倍、4倍 ただし、低倍率は加速電圧、D(*2)、画面サイズにより異なります。 |
| 観察条件設定 | 表面/通常/高輝度 |
| 観察モード | 標準モード、帯電軽減モード |
| 画像モード | 標準、影付1、影付2、凹凸 |
| 試料可動範囲 | X：±17.5mm、Y：±17.5mm |
| 最大試料寸法 | 70mm径 |
| 最大試料厚さ | 50mm |
| 電子銃 | プリセンタードカートリッジフィラメント |
| 検出系 | 高感度4分割半導体反射電子検出器 |
| 自動画像調整機能 | オートフォーカス、オート輝度 |
| 画像メモリ画素 | 640×480画素、1,280×960画素 |
| 画像データ保存 | PC付属ハードディスク他記録媒体 |
| 画像形式 | BMP、TIFF、JPEG |
| データ表示 | ミクロンマーカー、、ファイルNo.、日付、コメント入力 |
| 排気系（真空ポンプ） | ターボ分子ポンプ：30l/s 1台 ダイアフラムポンプ：1m3/h 1台 |
| 真空検出 | ピラニーゲージ |
| 操作補助機能 | ラスターローテーション、倍率プリセット（2段） |
| ノートPC電源 | AC100-240V(最低90V、最高250V)80VA、 付属ACアダプタ(2Pコンセント)接続 |
| 本体電源 | AC100-240V(最低90V、最高250V)500VA、 周波数：50／60 Hz |
| 寸法・重量 | 本体部：330×606×550 63kg（マニュアルステージ仕様） ダイアフラムポンプ：145×256×217 4.5kg |
(*１) 倍率ステップ：15、18、20、25、30、40、50、60、80、100、120、150、180、200、250、300、400、500、600、800、1000、1200、1500、1800、2000、2500、3000、4000、5000、6000、7000、8000、9000、10,000、12,000、15,000、18,000、20,000、25，000、30,000 (*2) D（距離）は、高感度4分割半導体反射電子検出器下面から試料表面までの距離を表しています
TM 3000の特徴
| (1) | 小型デスクトップ型の電子顕微鏡 |
| (2) | 光学顕微鏡に比べ、高いフォーカス深度・購買率観察が可能 |
| (3) | 面倒な試料の前処理が不要 |
| (4) | 直径：70 mm、厚さ：50 mm までの試 料が搭載可能 |
| (5) | パソコンによる操作と、フォーカス・明るさの自動調整機能を搭載 |
| (6) | 電源ＯＮから観察まで約3分 |
| (7) | 電源コンセント接続のみで動作可能(AC 100 – 240 V ：5 A 以下） |
| (8) | 観察モード、観察条件設定の切替えにより、状況にあわせた観察が可能 |
