【総合研究所設置機器】 ／ 【ナノ科学技術学際研究センター】 顕微ＰＬ装置 ＞ 金属蒸着装置 ＞ エピタキシー ＞ 原子層堆積装置（ＡＬＤ） ＞ スパッタリング装置 ＞ Ｘ線回折装置 ＞ 原子間力顕微鏡（ＡＦＭ） ＞ ホール測定装置 ＞ 形状解析レーザー検眼鏡 ＞ 熱酸化炉 ＞ ドライエッチング装置 ＞ マスク・アライナー ＞ マスクレスアライナー ＞ 有機・無機ドラフト ＞ 有機・無機ドラフト ＞ プローバー ＞ 低温プローバー ＞ ＣＭＰ装置 ＞ 真空熱処理装置 ＞ 急速加熱装置（ＲＴＡ） ＞ ※機種の設置場所色について 機器名 ：他施設 機器名 ：クリーンルーム 機器名 ：準クリーンルーム Informationインフォメーション 2020.09.02 インフォメーション 停電のお知らせ 2020.06.24 インフォメーション 【再掲載】成果報告における謝辞文の記載について 2020.06.23 インフォメーション ホームページの運用開始について 2020.06.16 インフォメーション 当センターの利用について
