装置について

本装置は、原子レベルでの表面形状観察や粗さ測定を行います。

動作原理につきましては　こちら　の項を参照ください。

装置仕様

メーカー：Veeco Instrument >br>　機種　： NanoScopeⅢA-U
分解能　：～0.1nm（高さ）、～10nm（面内）